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文檔資料風機過濾器單元 FFU使用說明書摘要:請詳細閱讀本說明書,并妥善保存,以備日后維護時參考 。 1-1 風機過濾器單元 風機過濾器單元(FFU )是一種 自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝 置 。 風機從 FFU 頂部將空氣吸入并經 HEPA 過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。廣泛用于半導
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